勻膠機(jī)有(yǒu)很(hěn)多(duō)種稱謂，英文(wén)叫SpinProcessor或者SpinCoater，又(yòu)稱甩膠機(jī)、勻膠台、旋±轉塗膠機(jī)、旋轉塗膜機(jī)、旋轉塗層機(jī)、旋轉塗布機(jī)、旋轉薄膜機(jī)、旋轉塗覆儀、旋轉塗<膜儀、勻膜機(jī)，總的(de)來(lái)說(shuō)，他(tā)們原理(lǐ)都(dōu)是(shì)一(yī)樣的(de)，既在高(gāo)速旋轉的(de)基片上(shàng)，滴注∏各類膠液，利用(yòng)離(lí)心力使滴在基片上(shàng)的(de)膠液均勻地(dì)塗覆在基片上(shàng∞)，厚度視(shì)不(bù)同膠液和(hé)基片間(jiān)的(de)粘滞系數(shù)而不(bù)同，也(yě)和(hé)旋轉速度及時(shí)γ間(jiān)有(yǒu)關。
針對(duì)目前勻膠機(jī)市(shì)場(chǎng)品牌衆多(duō)的(de)情況，綜合多(duō)年(nián)從(cóng)事(shì)勻膠機(jī)技(jì)術(shù∞)研究的(de)實際經驗，為(wèi)幫助廣大(dà)用(yòng)戶提高(gāo)辨别能(néng)力，下(xià)面為(wèi)大(dà)家(jiā)提供直觀明(míng)确的™(de)選擇标準。從(cóng)其原理(lǐ)來(lái)說(shuō)，我們可(kě)以看(kàn)出£選購(gòu)勻膠機(jī)需要(yào)注意的(de)幾個(gè)細節：
1、真空(kōng)吸附系統的(de)構造
真空(kōng)泵一(yī)定要(yào)無油的(de)，壓力标定準确，國(guó)內(nèi)生(shēng)産的(de)無油真空(kōng)泵實在不(bù)敢恭維。因為(wè≥i)任何的(de)油污都(dōu)可(kě)能(néng)堵塞真空(kōng)管道(dào)，如(rú)果真空(kōng)吸附力降低(dī)，會(huì)導緻基片吸附 不(bù)住而産生(shēng)的(de)情況，還(hái)會(huì)讓滴膠液不(bù)慎進入真空(kōng)管道(dào)系統造成完全堵塞。用(yòng)過國(guó)産勻→膠機(jī)的(de)客戶常常會(huì)關心怎麽清洗的(de)問(wèn)題，這(zhè)一(yī)點許多(duō)國(guó¥)外(wài)的(de)勻膠機(jī)做(zuò)得(de)不(bù)錯(cuò)，他(tā)們有(yǒu)通(tōn&g)過聯動機(jī)制(zhì)，如(rú)果真空(kōng)吸附力不(bù)夠的(de)時(shí)候，•不(bù)會(huì)開(kāi)始旋轉。
2、旋轉速度
轉速的(de)快(kuài)慢(màn)和(hé)控制(zhì)精度直接關系到(dào)旋塗層的(de)厚度控制(zh™ì)和(hé)膜層均勻性。如(rú)果标示的(de)轉速和(hé)電(diàn)機(jī)的(de)實際轉速如(rú)果誤差很(hěn)大(dà)，對(♦duì)于要(yào)求精密塗覆的(de)科(kē)研人(rén)員(yuán)來(lái)說(shuō)是(shì)無法獲♦得(de)準确的(de)實驗數(shù)據的(de)。國(guó)産的(de)某些(xiē)勻膠機(jī)隻能(♦néng)提供轉速範圍，并不(bù)能(néng)精确标定實時(shí)的(de)轉速。進口的(de)勻膠機(jī)雖然大(dà)部分(fēn)能(néng)标定轉速，但(dàn) 是(shì)大(dà)部分(fēn)轉速精度沒有(yǒu)國(guó)際标準認定。建議(yì)購(gòu)買轉速控制( zhì)方面有(yǒu)國(guó)際認定标準的(de)，比如(rú)：美(měi)國(guó)NIST标準等。
3、材質的(de)選擇
對(duì)于半導體(tǐ)化(huà)工(gōng)行(xíng)業(yè)的(de)應用(yòng)來(lái)說(shuō)，材質的(de)選擇尤為(wèi)關鍵，大(dà)部分♦(fēn)勻膠機(jī)采用(yòng)的(de)是(shì)不(bù)鏽鋼或者普通(tōng)塑料材質，因為(wèi)這(zhè)種材質的(de)成本很(hěn→)低(dī)，不(bù)鏽鋼的(de)對(duì)于各類化(huà)工(gōng)膠液的(de)抗腐蝕性不(bù)太好(hǎo)，塑料↕對(duì)于較高(gāo)溫度和(hé)壓力下(xià)易産生(shēng)變形。如(rú)果這(zhè)種變形引起托盤的(de)位置失去(qù)水(shuǐ)平的(de)話(hu∑à)，将會(huì)導緻旋塗時(shí)，時(shí)高(gāo)時(shí)低(dī)的(de)颠簸狀态。自(zì)然無法•得(de)到(dào)好(hǎo)的(de)旋塗效果。目前有(yǒu)些(xiē)國(guó)外(wài)品牌采用(yòng)天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特 氟隆)材質。這(zhè)兩種材質具備綠(lǜ)色環保、節約資源、重量輕、強度大(dà)、抗沖擊性能(néng)好↔(hǎo)、堅固耐用(yòng)、花(huā)紋自(zì)然、光(guāng)澤度好(hǎo)等優點。安賽斯（中國(guó)）有(yǒu)限公司提醒廣大(d←à)客戶：在選購(gòu)勻膠機(jī)的(de)同時(shí)，一(yī)定要(yào)注意品牌和(βhé)質量，價格其次，市(shì)場(chǎng)上(shàng)的(de)勻膠機(jī)層次不(bù)齊，客戶在購☆(gòu)買時(shí)要(yào)慎重考慮。
