勻膠機(jī)/旋塗儀有(yǒu)很(hěn)多(duō)種稱謂,英文(wén)叫Spin Coater或者Spin Processor,又(yòu)稱甩膠機(jī)、勻膠台、旋轉塗膠機(jī)、旋轉塗膜機(jī)、旋轉塗層機(jī)、旋轉塗布機(jī)、旋轉薄膜機(j'ī)、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機(jī),總的(de)來(lái)說(shuō),他(tā)們原理(lǐ)都(dōu)是(shì)一(yī)樣的(de),既λ在高(gāo)速旋轉的(de)基片上(shàng),滴注各類膠液,利用(yòng)離(lí)心力使滴在基片上(shàng)的(de™)膠液均勻地(dì)塗覆在基片上(shàng),厚度視(shì)不(bù)同膠液和(hé)基片間(jiān)的(de)粘滞系數(shù)而不(bù)同,也(yě)和(hé)旋轉×速度及時(shí)間(jiān)有(yǒu)關。  勻膠機(jī)盡管是(shì)一(yī)款原理(lǐ)比較簡單的(de)實驗室小(xiǎo)型儀器(qì),但(dàn)影(yǐng)響勻膠效果的(de)卻有(yǒu)勻膠速度(βspeed)、勻膠時(shí)間(jiān)(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制(zhì)精度(accuracy)等因素。其中最重要(yào)的(de)就(jiù)是(shì)控制(zhì)精度(accuracy),沒有(yǒu)控制(zhì)精度,其他(tā)的(de)設置都(dōu)是(shì)虛無。這(zhè)也( yě)是(shì)某些(xiē)品牌勻膠機(jī)最緻命的(de)問(wèn)題所在。 
安賽斯(中國(guó))有(yǒu)限公司提供的(de)HC系列勻膠機(jī),采用(yòng)進口電(diàn)機(jī)及觸屏控制(zhì)系統,實現(xiàn)對(duì)轉速、時(shí)間(jiān)和(hé)加速度的(de)精确控制(zhì),轉速調節精度<1rpm,重複性< 1rpm,實現(xiàn)勻膠過程的(de)高(gāo)精度和(hé)高(gāo)重複性。 
最新升級的(de)HC系列勻膠機(jī)有(yǒu)HC150PE,HC160PE,HC220PE等多(duō)個(gè)型号,滿足不(bù)同尺寸晶元的(de)勻膠需求。 |