超聲波掃描顯微(wēi)鏡對(duì)被測器(qì)件(jiàn)是(shì)有(yǒu)一(yī)定限制(zhì)的(de),因為(wèi)它的(de)工(gōng)作(zuò)頻(pín)率一(✘yī)般在5MHz~400MHz之間(jiān),安賽斯(中國(guó))有(yǒu)限公司引進德國(guó)的(de)超聲波掃描顯微(wēi)鏡,其工(gōng)作(zuò)頻(pín)率可(kě)達550M。所以它在不(bù)同材料中,穿透深度是(shì)不(bù)同。一(yī)般有(yǒu)這(zhè)樣的(de)規律:頻(pín)率越高(gāo)的(de)超聲波,穿透性越差,但(dàn)是(shì)分(fēn)辨率高(gāo);頻(pín)率低(λdī)的(de)超聲波,穿透性好(hǎo),但(dàn)是(shì)分(fēn)辨率有(yǒu)限! 穿透深度(與材料本身(shēn)有(yǒu)關*): 穿透深度取決于被測物(wù)的(de)彈性參數(shù)、信噪比及超聲掃描顯微(wēi)鏡系統的(de)工(gōng)作(zuò)頻(pín)率。被測物(☆wù)與耦合介質之間(jiān)較大(dà)的(de)聲失配會(huì)降低(dī)穿透深度,但(dàn)另一(yī)方面,高(g↕āo)信噪比可(kě)以提 高(gāo)穿透深度。在高(gāo)聲阻抗的(de)固體(tǐ)中超聲波的(de)穿透深度與超聲波的(de)頻(pí n)率成反比。對(duì)于低(dī)聲阻抗的(de)固體(tǐ),橫波和(hé)縱波均可(kě)以用(yòng)于內(nèi)部成像,因此在這(zhè)種情況下(xià)穿透深度不≠(bù) 受頻(pín)率的(de)限制(zhì)。 分(fēn)辨率:取決于樣品和(hé)換能(néng)器(qì)的(de)狀況,一(yī)般情況下(xià)可(kě)達到(dào)半波長(cháng)(λ/2)。 頻(pín)率(MHz) | 穿透深度*(mm) | 理(lǐ)論分(fēn)辨率(μm) | 焦距(mm) | 5 | 15,0 | 300 | 19 | 10 | 10,0 | 150 | 15 | 15 | 5,1 | 100 | 19 | 20 | 4,1 | 75 | 15 | 25 | 4,1 | 60 | 15 | 30 | 3,4 | 50 | 12 | 40 | 5,4 | 38 | 20 | 75 | 3,4 | 20 | 12 | 80 | 2,2 | 19 | 8 | 100 | 0,4 | 15 | 1 | 110 | 2,2 | 14 | 8 | 120 | 2,2 | 12 | 8 |
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