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簡要(yào)描述:HC160PE 程控精密勻膠機(jī)是(shì)一(yī)種既可(kě)用(yòng)于精密勻膠操作(zuò),又(yòu)可(kě)↓用(yòng)于半導體(tǐ)顯影(yǐng)和(hé)清洗的(de)台面式設備,它可(kě)以實現(xiàn)價值百萬美(měi)元設備(track)的(de)上(shàng)才可(kě)能(néng)達到(dào)穩定性和(hé)均勻性
産品分(fēn)類
Product Category相(xiàng)關文(wén)章(zhāng)
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可(kě)編程精密勻膠機(jī)
型号:HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機(jī),采用(yòng)高(gāo)級PLC 全自(zì)動程序控制(zhì),轉速精度高(gāo),穩定性好(hǎo)。可(kě)用(yòng)于微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、半導體(tǐ)、新能(néng)源、生(s♣hēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的(de)制(zhì)備。
特點:
l 設計(jì)緊湊,可(kě)放(fàng)置在手套箱內(nèi);
l 4.3英寸彩色觸屏控制(zhì),人(rén)機(jī)界面;
l 不(bù)鏽鋼外(wài)殼,美(měi)觀耐腐蝕;
l 經CNC一(yī)體(tǐ)加工(gōng)成型的(de)HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能(néng);
l 內(nèi)腔壁采用(yòng)*的(de)凹面設計(jì),有(yǒu)效防濺;
l 高(gāo)級PLC全自(zì)動程序控制(zhì),可(kě)編程;
l 帶真空(kōng)度安全互鎖檢測功能(néng);
l 帶蓋子(zǐ)安全互鎖檢測功能(néng);
l 帶排廢接口;
l 配置一(yī)個(gè)自(zì)動點膠接口,可(kě)升級自(zì)動點膠系統;
l 可(kě)設置用(yòng)戶密碼保護功能(néng);
l 配置可(kě)調基座,方便調節水(shuǐ)平;
技(jì)術(shù)參數(shù):
l 适用(yòng)晶元尺寸範圍:Ø10~160mm;
l 旋塗速度:100~12000rpm;
l 轉速分(fēn)辨率:1rpm;
l 旋塗加速度:100-30000rpm/s;
l 旋塗時(shí)間(jiān):3000s;
l 旋塗時(shí)間(jiān)精度:0.1s;
l 內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用(yòng)*的(de)凹面防濺設計(jì);
l 具備單步快(kuài)速旋塗和(hé)多(duō)步編程旋塗,可(kě)編程100組程序,每組程序10步;
l 電(diàn)源輸入:AC200-230V;
設備外(wài)形尺寸:長(cháng)X寬X高(gāo):310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機(jī)
HC160PE程控精密勻膠機(jī)
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