當前位置:首頁 >産品中心>半導體(tǐ)前處理(lǐ)>安賽斯勻膠機(jī)/旋塗儀>12英寸安賽斯程控勻膠機(jī)
産品分(fēn)類
Product Category相(xiàng)關文(wén)章(zhāng)
Related Articles詳細介紹
産品介紹:
名 稱:安賽斯程控勻膠機(jī)
型 号:12英寸
應 用(yòng):安賽斯程控勻膠機(jī)勻膠機(jī)是(shì)一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和(hé)經濟的(de)旋轉勻膠設備,它可(kě)以實現(xiàn)價值百萬美(měi)元設備(tδrack)的(de)上(shàng)才可(kě)能(néng)達到(dào)穩定性和(hé)均勻性。
産品概述:
安賽斯程控勻膠機(jī)是(shì)一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和(hé)經濟的(de)旋轉勻膠設備,它可(kě)以實現(xiàn)價值百萬美(měi)元設備(track)的(de)上(shàng)才可(kě)能(néng)達到(dào)穩定性和(hé)均勻性。
不(bù)鏽鋼外(wài)殼比塑料或者烤漆金(jīn)屬更耐久和(hé)美(měi)觀;工(gōng)業(yè)級别400瓦伺服電(diàn)機(jī)系統,采用(yòng)于track設備相(xiàng)同設計(jì)和(hé)程序,使您的(de)工(gōng)藝更具有(yǒu)實際應用(yòng)意義;同類産品中大(dà)達到(dào)50000rpm/s的(de)旋轉加速度,确保旋轉勻膠的(de)穩定性和(hé)*的(de)可(kě)重複性。
性能(néng)參數(shù):
l 主機(jī)機(jī)箱采用(yòng)不(bù)鏽鋼材料(抗化(huà)學腐蝕易清潔)
l 旋塗程序:多(duō)存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可(kě)達到(dào)0.1秒(miǎo)
l 轉動速度:0-5,000rpm(更高(gāo)速可(kě)選),考慮重片或大(dà)片旋塗安全性限定為(wèi)5000rpm
l 旋塗加速度:0-10,000rpm/sec(更高(gāo)可(kě)選),考慮重片或大(dà)片旋塗安全性限定為(wèi)10000rpm/s
l 馬達旋塗轉速穩定性能(néng)誤差 < ±1rpm
l 轉速調節精度<1rpm,重複性< 1rpm
l 工(gōng)藝時(shí)間(jiān)設定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間(jiān)設置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)
l 旋塗作(zuò)業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸範圍內(nèi)(需要(yào)去(qù)除邊緣3毫米區(qū)域測量)
産品特點:
l 內(nèi)部緊湊設計(jì),縮小(xiǎo)了(le)設備的(de)尺寸。
l 7"觸屏控制(zhì)面闆操作(zuò)系統,更方便操作(zuò)。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計(jì)可(kě)适合各種材料勻膠工(gōng)藝。
l 标準配置轉速5000rpm,并可(kě)根據用(yòng)戶需要(yào)進行(xíng)定制(zhì)。
l 采用(yòng)工(gōng)業(yè)級别伺服電(diàn)機(jī),電(diàn)機(jī)設計(★jì)避免光(guāng)刻膠等污染物(wù)進入電(diàn)機(jī)內(nèi)部。
l 機(jī)身(shēn)選用(yòng)耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不(bù)鏽鋼,不(bù)會(huì)生(shēng)鏽,便于清洗。
l 透明(míng)可(kě)視(shì),耐化(huà)學腐蝕的(de)密封蓋,可(kě)以在旋塗作(zuò)業(yè)時(shí)*隔絕光(guāng)刻膠的(de)溢出及有(yǒu)效隔絕有≥(yǒu)毒氣味的(de)散發。
産品外(wài)型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
咨詢或索取詳細産品資料,請(qǐng)聯系ANALYSIS(安賽斯)工(gōng)作(zuò)人(rén)員(yuán)。
統一(yī)客服:400 8816 976
産品咨詢
郵箱:info@analysis-tech.com
地(dì)址:北(běi)京市(shì)海(hǎi)澱區(qū)建材城(chéng)中路(lù)3号樓程遠(yuǎn)大(dà)廈B座606
官方微(wēi)信
公司官網
微(wēi)信掃一(yī)掃