當前位置:首頁 >産品中心>半導體(tǐ)前處理(lǐ)>安賽斯勻膠機(jī)/旋塗儀>HC220SE精密勻膠機(jī)
産品分(fēn)類
Product Category相(xiàng)關文(wén)章(zhāng)
Related Articles詳細介紹
産品特色
Ø 采用(yòng)高(gāo)級PLC模塊,工(gōng)業(yè)級伺服電(diàn)機(jī);8英寸彩色觸屏控制(zhì),人(rén)機(jī)界面;
Ø HDPE高(gāo)分(fēn)子(zǐ)內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能(néng);內(nèi)腔壁采用(yòng)凹面設計(jì),有(∏yǒu)效防濺;
Ø 可(kě)編程寫和(hé)存儲100組程序,每組100步;
Ø 帶真空(kōng)度安全互鎖檢測功能(néng);帶蓋子(zǐ)安全互鎖檢測功能(néng);帶排廢接口;
Ø 具有(yǒu)電(diàn)機(jī)進膠保護功能(néng);管路(lù)易疏通(tōng)設計(jì);具有(yǒu)真空(kōng)不(bù)足提示及保護功能(néng),具有←(yǒu)斷電(diàn)後參數(shù)自(zì)動保存功能(néng)。
Ø 正、反轉旋塗方向可(kě)自(zì)由切換;旋塗參數(shù)可(kě)設置循環執行(xíng);速度-時(shí)間(jiān)曲線實時(shí)顯示;
Ø 可(kě)設置用(yòng)戶密碼保護功能(néng);配置可(kě)調基座,方便調節水(shuǐ)平;
性能(néng)參數(shù)
Ø 适用(yòng)晶元尺寸範圍:Ø5~220mm;
Ø 旋塗速度:0~10000rpm;轉速分(fēn)辨率:1rpm;旋塗加速度:0-50000rpm/s(空(kōng)載);
Ø 最大(dà)旋塗時(shí)間(jiān):3000s;旋塗時(shí)間(jiān)精度:0.1s;
Ø 內(nèi)腔壁采用(yòng)凹面防濺設計(jì);
Ø 具備單步快(kuài)速旋塗和(hé)多(duō)步編程旋塗,可(kě)編程100組程序,每組程序100步;
Ø 均勻性:<±3%(需去(qù)邊3mm區(qū)域測量);
Ø 電(diàn)源輸入:AC200-230V;
産品咨詢
郵箱:info@analysis-tech.com
地(dì)址:北(běi)京市(shì)海(hǎi)澱區(qū)建材城(chéng)中路(lù)3号樓程遠(yuǎn)大(dà)廈B座606
官方微(wēi)信
公司官網
微(wēi)信掃一(yī)掃