勻膠機(jī)旋塗儀采用(yòng)高(gāo)速旋轉基片，利用(yòng)離(lí)心力使滴在基片上(shàng)的(de)膠液均勻的(₹de)塗在基片上(shàng)，具有(yǒu)高(gāo)轉速、高(gāo)精度、旋轉穩定、塗層（厚度）均勻、操作(✘zuò)簡單快(kuài)速等特點，适用(yòng)于半導體(tǐ)、矽片、導電(diàn)玻璃等材料表面的(de)塗覆工(gōng)藝。勻膠機(jī)旋塗儀可(kě)以對♦(duì)不(bù)同尺寸（圓片及特殊尺寸）的(de)基片進行(xíng)勻膠，設備體(tǐ)積小(xiǎo)，占用(yòng)空(kōng)間(jiān)少(shǎo)，PLC全自(zì)動控制®(zhì)系統保證設備長(cháng)時(shí)間(jiān)穩定運行(xíng)，同時(shí)觸摸屏軟件(jiàn)為(wèi)用↕(yòng)戶提供友(yǒu)好(hǎo)的(de)操作(zuò)界面。
勻膠機(jī)旋塗儀有(yǒu)很(hěn)多(duō)種稱謂，又(yòu)稱甩膠機(jī)、勻膠台、旋轉塗膠機(jī)、旋轉塗膜機(jī)、旋轉塗層機(jī)、旋轉塗布機(jī)、§旋轉薄膜機(jī)、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機(jī)，總的(de)來(lái)說(shuō)，他(tā)們原理(lǐ)都(dōu)是(shì)一(yī)β樣的(de)，即在高(gāo)速旋轉的(de)基片上(shàng)，滴注各類膠液，利用(yòng)離(lí)心力使滴在基片上(shàngδ)的(de)膠液均勻地(dì)塗覆在基片上(shàng)，厚度視(shì)不(bù)同膠液和(hé)基片間(jiān)的©(de)粘滞系數(shù)而不(bù)同，也(yě)和(hé)旋轉速度及時(shí)間(jiān)有(yǒu)關。
針對(duì)目前勻膠機(jī)旋塗儀市(shì)場(chǎng)品牌衆多(duō)，良莠不(bù)齊現(xiàn)象，筆(bǐ)者結合自(zì)己多(duō)年(nián)從(cóng)事(shì)勻膠機(jī)旋塗儀技(jì )術(shù)服務的(de)實際經驗。幫助廣大(dà)用(yòng)戶提高(gāo)辨别能(néng)力，為(wèi)用(yòng)戶提供了(le)直觀明(m♠íng)确的(de)選擇标準。
從(cóng)其原理(lǐ)來(lái)說(shuō)，我們可(kě)以看(kàn)出選購(gòu)勻膠機(jī)旋塗儀需要(yào)注意的(de)幾個(gè)細節&ldquo♣;
1、 旋轉速度：轉速的(de)快(kuài)慢(màn)和(hé)控制(zhì)精度直接關系到(dào)旋塗β層的(de)厚度控制(zhì)和(hé)膜層均勻性。如(rú)果标示的(de)轉速和(hé)電(diàn)機(jī)的(de)實際轉速誤差很(hěn)大(dà)，對(duì)于要•(yào)求精密塗覆的(de)科(kē)研人(rén)員(yuán)來(lái)說(shuō)是(s≥hì)無法獲得(de)準确的(de)實驗數(shù)據的(de)。國(guó)産的(de)某些(xiē)勻膠機(jī)旋塗儀隻能(néng)提供轉速∞範圍，并不(bù)能(néng)**标定實時(shí)的(de)轉速。進口的(de)勻膠機(jī)旋塗儀雖然大(dà)§部分(fēn)能(néng)标定轉速，但(dàn)是(shì)大(dà)部分(fēn)轉速精度沒有(yǒu)标準認定。建議(yì)購(gòu)買轉速控制(zhì)方面有(yǒu)認定标準的(de) ，比如(rú)：美(měi)國(guó)NIST标準等。
2、 真空(kōng)吸附系統的(de)構造
真空(kōng)泵一(yī)定要(yào)無油的(de)，壓力标定準确，國(guó)內(nèi)生<(shēng)産的(de)無油真空(kōng)泵實在不(bù)敢恭維。因為(wèi)任何的(de)油污都(dōuβ)可(kě)能(néng)堵塞真空(kōng)管道(dào)，如(rú)果真空(kōng)吸附力降低(dī)，會(h→uì)導緻基片吸附不(bù)住而産生(shēng)“飛(fēi)片”的(de)情況，還(hái)會(h♦uì)讓滴膠液不(bù)慎進入真空(kōng)管道(dào)系統造成*堵塞。用(yòng)過國(guó)産勻膠機(jī)旋塗儀的(de)客戶常常會(huì)關心怎麽清洗的(de)問(wèn)題，這( zhè)一(yī)點許多(duō)國(guó)外(wài)的(de)勻膠機(jī)旋塗儀做(zuò)得(de)不(bù)錯(cuò)，他(tā)們有(yǒu)通(tōng)過聯動機(jī)制(zhì)，如(rú)果真空(kōng)吸附力不(bù)夠的(de)時(shí)候，不(bù)會(huì)開(kāi)始旋轉。
3、 材質的(de)選擇
對(duì)于半導體(tǐ)化(huà)工(gōng)行(xíng)業(yè)的(de)應用(yòng)來(lái)說(shεuō)，材質的(de)選擇尤為(wèi)關鍵，大(dà)部分(fēn)勻膠機(jī)旋塗儀采用(yòng)的(de)是(shì)不(bù)鏽鋼或者普通(tōng)塑料材質，因為(wèi)這(zhè)種材質的Ω(de)成本很(hěn)低(dī)，不(bù)鏽鋼的(de)對(duì)于各類化(huà)工(gōng)膠液的(de)抗腐蝕性不(bù)太好(hǎo)，塑♦料對(duì)于較高(gāo)溫度和(hé)壓力下(xià)易産生(shēng)變形。如(rú)果這(zh♥è)種變形引起托盤的(de)位置失去(qù)水(shuǐ)平的(de)話(huà)，将會(huì)導緻旋塗時(shí)，時(shí)高(gāo)時(shí)•低(dī)的(de)颠簸狀态。自(zì)然無法得(de)到(dào)好(hǎo)的(de)旋塗效果。例如(rú)美(měi)國(guó)等型号都(dōu)是(shì)采用(yòng)天然聚 丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這(zhè)兩種材質具備綠(lǜ)色環保、節約資♠源、重量輕、強度大(dà)、抗沖擊性能(néng)好(hǎo)、堅固耐用(yòng)、花(huā)紋自(zì)然、光(guāng)澤度好(hǎo)λ等優點。
