超聲波掃描顯微(wēi)鏡雖然是(shì)顯微(wēi)鏡家(jiā)族中的(de)*, 但(dàn)由于其本身(shēn)具有(yǒu)許多(duō)*的(de)優點, 發展速度是(shì)很 (hěn)快(kuài)的(de)。下(xià)面我們來(lái)了(le)解下(xià)它有(yǒu)哪些(xiē)特♠點。
1、超聲波掃描顯微(wēi)鏡分(fēn)辨率較高(gāo), 通(tōng)過二次電(diàn)子(zǐ)象能(néng)夠觀察試樣表面6nm左右的(de£)細節, 采用(yòng)LaB6電(diàn)子(zǐ)槍, 可(kě)以進一(yī)步提高(gāo)到÷(dào)3nm。
2、儀器(qì)放(fàng)大(dà)倍數(shù)變化(huà)範圍大(dà), 且能(néng)連←續可(kě)調。因此可(kě)以根據需要(yào)選擇大(dà)小(xiǎo)不(bù)同的(de)視(shì)場ε(chǎng)進行(xíng)觀察, 同時(shí)在高(gāo)放(fàng)大(dà)倍數(shù)下(xià)也(yě)可(kě)獲得(de)一(yī)般透射電(d∑iàn)鏡較難達到(dào)的(de)高(gāo)亮(liàng)度的(de)清晰圖像。
3、觀察樣品的(de)景深大(dà), 視(shì)場(chǎng)大(dà), 圖像富有(yǒu)立體(tǐ)感, 可(kě)直接觀察起伏較大(↔dà)的(de)粗糙表面和(hé)試樣凹凸不(bù)平的(de)金(jīn)屬斷口象等, 使人(rén)具有(yǒu)親臨微(wēi)觀世界現(xiàn)場(chǎng)♥之感。
4、樣品制(zhì)備簡單, 隻要(yào)将塊狀或粉末狀的(de)樣品稍加處理(lǐ)或不(bù)處理(lǐ), 就(jiù)±可(kě)直接放(fàng)到(dào)掃描電(diàn)鏡中進行(xíng)觀察, 因而更接近(jìn)于物(wù)質的(de)自(zì)然狀态。
5、可(kě)以通(tōng)過電(diàn)子(zǐ)學方法有(yǒu)效地(dì)控制(zhì)和(hé)改善圖像質量, 如(rú)亮¶(liàng)度及反差自(zì)動保持, 試樣傾斜角度校(xiào)正, 圖象旋轉, 或通(tōng)過Y調制(zhì)改善圖象反差的(de)寬容度, 以及圖象各部分(fēn)亮(liàng)暗(∞àn)适中。采用(yòng)雙放(fàng)大(dà)倍數(shù)裝置或圖象選擇器(qì), 可(kě)在熒光(guāng)屏上(shàng)同時(shí)觀察放(fàng)≤大(dà)倍數(shù)不(bù)同的(de)圖象。
6、超聲波掃描顯微(wēi)鏡可(kě)進行(xíng)綜合分(fēn)析。裝上(shàng)波長(cháng)色散X射線譜儀(WDX) 或能(néng)量色散X射線譜儀 (EDX) , 使具有(yǒu)電★(diàn)子(zǐ)探針的(de)功能(néng), 也(yě)能(néng)檢測樣品發出的(de)反射電(diàn)子(zǐ)、X射線、陰極熒光(guāng)、透射電(di÷àn)子(zǐ)、俄歇電(diàn)子(zǐ)等。把掃描電(diàn)鏡擴大(dà)應用(yòng)到(dào)各種顯微(wēi)的(de)和(hé)±微(wēi)區(qū)的(de)分(fēn)析方式, 顯示出了(le)掃描電(diàn)鏡的(de)多(duō)功能(néng)。另外(wài), 還(hái)可(♣kě)以在觀察形貌圖象的(de)同時(shí), 對(duì)樣品任選微(wēi)區(qū)進行(xíng)分( fēn)析;裝上(shàng)半導體(tǐ)試樣座附件(jiàn), 通(tōng)過電(diàn)動勢象放(fàng)大(dà)器(qì)可(kě)以直接觀察晶體(tǐ)管或集成電(diàn)路&(lù)中的(de)PN結和(hé)微(wēi)觀缺陷。由于不(bù)少(shǎo)掃描電(diàn)鏡電(diàn)子(zǐ)探針實現(xiàn)了(le)電(diàn)子(zǐ)計(jì®)算(suàn)機(jī)自(zì)動和(hé)半自(zì)動控制(zhì), 因而大(dà)大(dà)提高(gāo)了(le)定量分(fēn)析的(de)速度。
