可(kě)編程旋塗儀/勻膠機(jī)

産品介紹：

名  稱：可(kě)編程精密勻膠機(jī)HC220PE

型  号：HC220PE

應  用(yòng)：HC220可(kě)編程旋塗儀/勻膠機(jī)，采用(yòng)高(gāo)精度工(gōng)業(yè)伺服電(diàn)機(jī)，配置8英寸人(rén)機₹(jī)界面，清晰的(de)編程程序界面設置，易學易用(yòng)。适合半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)‍及科(kē)研院所，實驗室級的(de)研究開(kāi)發。适合8英寸及以下(xià)尺寸晶元旋塗，是(shì)一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和(hé)經濟的(de∞)旋轉勻膠設備，它可(kě)以實現(xiàn)價值百萬美(měi)元設備（track）的(de)上(shàng)才可(kě)能(néng)達到(dào)穩定性和(hé)均勻性。

産品概述：

　　HC220可(kě)編程旋塗儀/勻膠機(jī)，采用(yòng)高(gāo)級PLC 模塊，工(gōng)業(yè)級伺服電(diàn)機(jī)，全自(zì)動程序控制(zhì)，轉速精度高(gāo)，穩定性好(hǎo)。可(kě)用(yòπng)于微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、半導體(tǐ)、新能(néng)源、生(shēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的(de)制(zhì)備。
　　設備采用(yòng)工(gōng)業(yè)級别200瓦伺服電(diàn)機(jī)系統，采用(yòng)與track設備相(xiàng)同設計(jì)和(hé)程序，使您的(de)工(gōng)藝更具有(yǒu)實際應用(yòng)意義；同類産品中最大(dà)達到(dào)50000RPM/S的(de)旋轉加速度，确保旋轉勻膠的(de)穩定性和(hé)可(kě)重複性。

性能(néng)參數(shù)：

l  旋塗程序：采用(yòng)與track設備類似的(de)程序與設計(jì)，最多(duō)可(kě)存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可(kě)精确到(dào)0.1秒(miǎo)；

l  電(diàn)機(jī)速度：0-10,000rpm；

l  旋塗加速度：0-50,000rpm/sec（空(kōng)載）；

l  馬達旋塗轉速穩定性能(néng)誤差 < ±1rpm；

l  轉速調節精度<1rpm；

l  重複性< 1rpm；

l  工(gōng)藝時(shí)間(jiān)設定： 0-3,000 sec/step；

l  時(shí)間(jiān)設置精度：0.1sec；

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；

l  旋塗作(zuò)業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸範圍內(nèi)（需要(yào)去(qù)除邊緣3毫米區(qū)域測量）；

産品特點：

l  用(yòng)高(gāo)級PLC模塊，工(gōng)業(yè)級伺服電(diàn)機(jī)；

l  8英寸彩色觸屏控制(zhì)，人(rén)機(jī)界面；

l HDPE高(gāo)分(fēn)子(zǐ)內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能(néng)；

l內(nèi)腔壁采用(yòng)凹面設計(jì)，有(yǒu)效防濺；

l可(kě)編程寫和(hé)存儲100組程序，每組100步；

l帶真空(kōng)度安全互鎖檢測功能(néng)；

l帶蓋子(zǐ)安全互鎖檢測功能(néng)；

l帶排廢接口；

l具有(yǒu)電(diàn)機(jī)進膠保護功能(néng)；

l管路(lù)易疏通(tōng)設計(jì)；

l具有(yǒu)真空(kōng)不(bù)足提示及保護功能(néng)，具有(yǒu)斷電(diàn)後參數(shù)自(zì)動保存功能(néng)；

l正、反轉旋塗方向可(kě)自(zì)由切換；

l旋塗參數(shù)可(kě)設置循環執行(xíng)；

l速度-時(shí)間(jiān)曲線實時(shí)顯示；

l配置四個(gè)自(zì)動點膠接口，可(kě)升級多(duō)路(lù)自(zì)動點膠系統；

l可(kě)設置用(yòng)戶密碼保護功能(néng)；

l配置可(kě)調基座，方便調節水(shuǐ)平；

          不(bù)同尺寸的(de)載物(wù)盤

産品外(wài)型尺寸：
       444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)