德國(guó)超聲波掃描顯微(wēi)鏡

名稱：德國(guó)超聲波掃描顯微(wēi)鏡

産品介紹：

名稱：德國(guó)超聲波掃描顯微(wēi)鏡

型号：V-400E

産地(dì)：德國(guó)

應用(yòng)：晶圓面處分(fēn)層缺陷；錫球、晶圓、或填膠中的(de)開(kāi)裂；晶圓的(de)傾斜；各種可(kě)能(néng)之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

産品應用(yòng)：

聲掃顯微(wēi)鏡應用(yòng)領域：

• 半導體(tǐ)電(diàn)子(zǐ)行(xíng)業(yè)：半導體(tǐ)晶圓片、封裝器(qì)件(jiàn)、大(dà)功率器(qì)件(jiàn)IGBT、紅(hóng)外(wài)器(qì)件(jiàn)、光(guāng)電(diàn)傳感器(qìγ)件(jiàn)、SMT貼片器(qì)件(jiàn)、MEMS等;
• 材料行(xíng)業(yè)：複合材料、鍍膜、電(diàn)鍍、注塑、合金(jīn)、超導材料、陶瓷、金(jīn)屬焊接、摩擦界面等；
• 生(shēng)物(wù)醫(yī)學：活體(tǐ)細胞動态研究、骨骼、血管的(de)研究等

在失效分(fēn)析中的(de)應用(yòng)：

• 晶圓面處分(fēn)層缺陷
• 錫球、晶圓、或填膠中的(de)開(kāi)裂
• 晶圓的(de)傾斜
• 各種可(kě)能(néng)之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

聲掃顯微(wēi)鏡的(de)在失效分(fēn)析中的(de)優勢：

• 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內(nèi)部結構
• 可(kě)分(fēn)層掃描、多(duō)層掃描
• 實施、直觀的(de)圖像及分(fēn)析
• 缺陷的(de)測量及缺陷面積和(hé)數(shù)量統計(jì)
• 可(kě)顯示材料內(nèi)部的(de)三維圖像
• 對(duì)人(rén)體(tǐ)是(shì)沒有(yǒu)傷害的(de)
• 可(kě)檢測各種缺陷（裂紋、分(fēn)層、夾雜(zá)物(wù)、附著(zhe)物(wù)、空(kōng)洞、孔洞等）

主要(yào)參數(shù)：

• -該型号顯微(wēi)鏡系統是(shì)實驗室、研發和(hé)工(gōng)業(yè)生(shēng)産線主流機(jī)型。
• - 掃描速度可(kě)達：2000mm/s
• - 與其它品牌機(jī)型相(xiàng)比掃描效率高(gāo)30%
• - 大(dà)掃描範圍：400mm×400mm
• - 小(xiǎo)掃描範圍：200μm×200μm
• - 射頻(pín)大(dà)帶寬：500MHz
• - 新型FCT防誤判探頭

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